邹世昌闲话芯情 | 孜孜不倦科研报国润物无声培育人才

白天黑夜，上海的草很深。转眼，已经到了仲夏。

人习惯了低着头忙碌，往往会忘记春夏秋冬，但偶尔闲暇的一瞬间，却嗅到了香味，停下匆匆的脚步，细细品味，不辜负美好的时光。

邹世昌先生是个大忙人。对他来说，时间更多的是光影的无声推进。20世纪60年代，他参加了克服困难的团队，成为中国核工业发展的铺垫者之一；20世纪70年代初，他转向半导体研究领域，将离子注入技术应用于半导体集成电路，成为中国离子束领域的奠基人；90年代后从科研转向工业，参与集成电路行业建设。历经20多年风雨，帮助“中芯”腾飞；时至今日，这位德高望重的老前辈、老导师依然是华虹李鸿与中科院微系统所联合培养博士生项目的积极推动者。他做科普专家工作站，做企业科协顾问，孜孜不倦地为“中芯”培养青年人才...学生和后辈都习惯亲切地叫他“邹先生”。

邹世昌，中国科学院院士，材料学家，上海集成电路工业协会名誉主席，原华虹NEC副董事长，原李鸿半导体董事长，现上海华虹李鸿半导体制造有限公司科学顾问

学点东西，报效国家

邹先生出生在炮火纷飞的战争年代，生活经历颇为艰辛。小的时候好几次被迫搬家。当我在学习的时候，我能听到学校里飞机的轰炸声。1949年从格致中学毕业后，考入东华大学前身上海中国纺织职业技术学院。新中国诞生不久，他就开始考虑把学习方向转向国家需要的行业——重工业相关领域，转到唐山交通大学，也就是现在的西南交通大学，学习冶金工程。

50年代留在苏联

1952年大学毕业后，邹先生进入中国科学院上海冶金研究所，开始了他的研究生涯。国家通过考试选拔人才赴苏联留学，他有幸被录取，于是1953年赴苏联莫斯科有色金属研究所深造，1958年获得副博士学位，随后回到上海微系统与信息技术研究所(原中国科学院上海冶金研究所)，用所学为国家服务。

20世纪60年代，苏联对华关系恶化，对华援助计划撤销，技术专家全部撤出，直接影响了中国原子弹制造相关技术项目的实施。关键之一是我们不会制造分离铀235的分离膜元件。当时只有美国、英国、苏联掌握了制造分离膜的技术，但都被列为国防重点机密。苏联也称这种隔离膜为“东方集团的安全心脏”。

在这种情况下，毛主席、周总理等国家领导人决定自力更生，他们想到了当时的中科院上海冶金研究所。鉴于这一重要而紧迫的任务，1961年，有关科研人员和设备集中在上海冶金学院，共同解决关键问题。武副主任也担任了办公室主任，带着三大班子。其中，第二组由邹先生领导，负责分离元件制造技术的研究。

在党委和吴院士的领导下，全室工作人员夜以继日地开展粉末成型、压力加工、热处理、表面处理等方面的研究工作。当时国内能生产供应的焊头材料性能都不能满足分离膜焊接工艺的要求。邹研究生开发了一种高强度、高导电性、热稳定性的新型铜合金材料，并加工成焊条，应用效果良好，克服了技术障碍。

1964年，满足要求的分离膜元件终于研制成功。试验结果表明，性能超过苏联的部件，使中国成为世界上第四个独立掌握浓缩铀生产技术的国家，为中国核工业的发展做出了重要贡献。1984年，该技术获国家发明一等奖。

任中建设半导体产业任重道远

20世纪80年代，邹开始转向半导体研究领域，研究离子束与固体材料的相互作用，并将其应用于材料的掺杂、改性、合成和分析。他首先在国内建立了离子背散射通道技术，并于1985年建立了中国科学院离子束开放研究实验室。

20世纪80年代，在美国，邹院士与世界离子注入技术奠基人迈耶教授合影

世界集成电路诞生于20世纪60年代初，中国于1965年开始研究开发集成电路。但由于国内情况等因素，一直没有扩大规模，在国际上处于落后地位。

直到20世纪80年代末，国家才下定决心发展半导体集成电路产业，成立华虹集团，启动“909工程”。1997年，邹先生从研究所所长的岗位上退休后，欣然接受任命，参与了华虹集团旗下华虹NEC公司的成立和半导体公司的建设，为国家集成电路产业的建设做出了新的贡献。

这两个晶圆厂的投资已经达到了100亿人民币，但是项目开始得很艰难。李鸿半导体经历了“八年抗战”。人才需要招聘，技术需要开发，设备需要折旧，需要大量资金支持。在市政府领导的支持下，公司克服了困难，坚持了下来。半导体行业本身就是一个前期投入比较大的行业。只有技术过得慢，市场逐渐开放，才能实现盈利，这是一种常见的做法。

2013年，两家公司合并为上海华虹李鸿半导体制造有限公司(华虹李鸿)，拥有三家8英寸晶圆厂，成为中国大陆最大的8英寸纯晶圆代工厂。2018年，公司销售额达到9.3亿美元，年净利润达到1.86亿美元，均创历史新高。截至2019年第一季度，已连续33个季度盈利。公司员工很开心，说明中国集成电路行业自主发展之路终于走过来了。

本世纪初，邹先生担任上海集成电路行业协会会长。当时，中国集成电路产品的自给率不到20%，80%以上依赖进口。十年过去了，现在中国半导体产业的规模已经增长到近3000亿美元，全球半导体市场容量也扩大到4000亿美元。但中国的自供比例几乎没有变化，80%的集成电路仍然依赖进口。过去肆虐的“中兴事件”的根源之一是核心技术掌握在别人手里。

目前很多低端集成电路产品可以自己生产，但是和国外还有两三代的差距，要正视这个差距，慢慢升级到高端。半导体行业的发展没有捷径。只能循序渐进，尽量少走弯路。为了改变实验室的研究成果往往脱离实际生产，许多研究成果发表后难以应用于实际生产的局面，华虹李鸿从本世纪初开始将学生放在公司的生产线上，探索产学研结合培养博士生的新途径。

培养下一代半导体人才

当被问及邹先生为什么在这个年龄还在工作时，他觉得自己不能忘记自己的根。如果不是国家培养，他也不会有自己的进步和成长。他必须尽最大努力为国家服务。同时，科学研究已经成为他生活的一部分。在工作中，他可以和现在的年轻人交流，获取新的知识，保持自己的工作节奏和大脑思维能力。

随着年龄的增长，邹先生逐渐把工作转移到年轻人的培养上来。他认为，一个行业是否强大，取决于人才团队的素质和能力。

只要有资金，就可以建厂，买设备。但是人才难找，培养人需要时间。目前国内自己培养的学生只能满足10%以上的需求。为了改变这种状况，华虹李鸿公司建立了一个产学研平台，培养博士生和博士后研究人员，使学生能够在生产线上解决与生产需求密切相关的实际问题，并在完成学业后立即独立工作。院士专家工作站建成后，已有30名博士和2名博士后接受了这种培训。

邹还提出将微系统研究所的研究工作与企业工艺路线相结合，共同培养博士生，实现“产、学、研”，建立标准单元库，通过工艺开发和器件建模，开发和验证电路。

除了培养专业人才，邹先生还积极从事科普工作。半导体集成电路行业的建设需要几代人的努力，所以要“从娃娃做起”。2017年，上海广播电视台组织中科院八位院士为中学生做科普讲座，分配给他的题目是《集成电路的探索》。节目播出后，反响热烈。电台建议整理此书后，邹先生整理了相关内容，形成了小书《芯片世界——集成电路探索》，希望能引起更多年轻人对集成电路行业的关注和兴趣，成为我国集成电路行业的生力军。