表面光洁度仪器 表面粗糙度测量仪器发展与展望

近二十年来，精密和超精密加工技术行业对表面质量和性能的评价提出了越来越高的要求，因此表面测量技术从传统的二维接触测量发展到三维光学非接触测量。

1)接触测量

接触测量是自1927年以来采用的传统粗糙度测量方法。其测量原理是当驱动器带动传感器沿工件被测表面匀速运动时，传感器的测针随着工件表面的微观波动上下运动，测针的运动被传感器转换成电信号的变化，电信号的变化由后级电路处理计算得到工件表面的粗糙度参数值。

中间拉伸仪的接触粗糙度测量仪主要是SJ57系列台式和SJ325便携式，可以满足不同客户的测量需求。

SJ5701粗糙度轮廓测量仪 SJ5701粗糙度轮廓测量仪

SJ325便携式粗糙度仪 SJ325便携式粗糙度测量仪

粗糙度的三维光学测量主要包括共焦显微术和白光干涉术。

2)共聚焦显微镜

共焦显微镜包括LED光源、旋转多针孔盘、带压电驱动器的物镜和CCD摄像机。发光二极管光源通过多针孔圆盘和物镜聚焦在样品表面，从而反射光。反射光通过MPD的针孔减少，直到聚焦部分落在CCD摄像头上。传统光学显微镜的图像包含清晰模糊的细节，但在共焦图像中，模糊的细节是通过多针孔盘的操作来过滤的，只有来自聚焦平面的光才能到达CCD相机。因此，共焦显微镜可以获得纳米范围内的高分辨率。每个共焦图像是通过对样品的形貌进行水平切片，在不同的聚焦高度捕获图像以产生这样的图像堆而获得的，并且共焦显微镜是通过压电驱动器和物镜的精确垂直位移来实现的。200到400个共焦图像通常在几秒钟内被捕获，然后软件从共焦图像的堆叠中重建精确的三维高度图像。

中像仪共焦显微镜即将上市，敬请期待！

3)白光干涉法

白光干涉仪作为一种测量表面形状的高精度工具，可以实现0.1纳米的超高分辨率，用于测量超高精度的三维表面粗糙度。SuperView W1系列中像仪已广泛应用于科研院所、高校、光电企业和半导体芯片企业。

SuperView W1白光干涉仪 监控W1白光干涉仪

SuperView W1白光干涉仪应用 SuperView W1白光干涉仪的应用

作为中国领先的R&D和测量仪器制造商，凭借十多年的技术沉淀和卓越的产品质量，中涂仪器将继续为国内外客户提供更加多样化的表面粗糙度测量方案和设备。