1、 表面刻蚀在等离子体的作用下,材料表面的一些化学键发生断裂,形成小分子产物或被氧化成CO、CO:等,这些产物被抽气过程抽走,使材料表面变得凹凸不平,粗糙度增加。2、...
1、 表面刻蚀在等离子体的作用下,材料表面的一些化学键发生断裂,形成小分子产物或被氧化成CO、CO:等,这些产物被抽气过程抽走,使材料表面变得凹凸不平,粗糙度增加。2、...
1、 表面刻蚀在等离子体的作用下,材料表面的一些化学键发生断裂,形成小分子产物或被氧化成CO、CO:等,这些产物被抽气过程抽走,使材料表面变得凹凸不平,粗糙度增加。2、...
1、 表面刻蚀在等离子体的作用下,材料表面的一些化学键发生断裂,形成小分子产物或被氧化成CO、CO:等,这些产物被抽气过程抽走,使材料表面变得凹凸不平,粗糙度增加。2、...