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氢化硅 速转!硅烷生产工艺比较!

该流程的主要特点是:

1.歧化反应在塔式反应器中进行,非常适合大规模生产,生产效率高,能耗低,成本低。

2.整个系统闭路循环,排放少,有利于环保,材料利用率高;

3.反应产物易于与硅烷分离,可得到高纯度的硅烷(9-11N);

4.硅烷精馏留下的各种硅盐酸盐可返回歧化塔再次反应;

5.反应条件温和,能耗低,易于操作和控制;

6.可生产硅烷、四氯化硅、二氯二氢硅等多种硅源材料,产品比例可随意搭配。

该方法硅烷纯度最高,热解可以得到纯度高达9-11n的多晶硅。该方法已达到千吨级的生产水平。世界上最大的硅烷生产商REC公司(前身为Asimi)使用这种方法制备硅烷气体。

三种硅烷生产工艺的优缺点比较

无论用什么方法制备硅烷气体,世界上生产硅烷的工业工艺主要有三种,即小松法、MEMC法和UCC法;

前两种工艺风险高,副产物多,环保压力大,生产成本也比较高。国内企业已经推出了自己的流程,但目前的运营并不理想;

三氯氢硅歧化工艺的基本思路是加氢脱氯,符合大规模化工生产,成本低,环境污染小。适用于扩大多晶硅企业产业链,回收副产品,扩大三氯氢硅厂产品链。是中国多晶硅和三氯氢硅企业未来最好的出路。

作者简介

龚友生:毕业于天津南开大学化学系,高级工程师。现任浙江龚景新材料科技有限公司总工程师,拥有数十年丰富的有机硅和多晶硅生产企业经验,曾参与2002年重大专项“大型集成电路制造设备及成套工艺”中电子级多晶硅材料和电子专用硅烷的研发项目。他拥有4项与硅烷相关的发明专利。

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