氧化铟 氧化铟锡中毒案例及危害控制

序言

氧化铟锡是氧化铟和氧化锡的混合物。In2O3是氧化物半导体，添加二氧化锡作为杂质。薄膜时透明无色导电，原料状态时黄色至灰色。氧化铟锡薄膜制备方法一般分为以下几种，如溶胶-凝胶法、喷雾热解法、溅射法、蒸发法、脉冲激光沉积法和化学气相沉积法。各种制造方法各有利弊。由于真空溅射法具有连续快速生产高质量薄膜的特点，其工艺温度低于其他技术，适用于各种大面积基板，因此真空溅射法是目前应用广泛的薄膜制造技术。real 空溅射的材料主要由in和Sn氧化物组成，与In2O3和SnO2氧化物结合的靶材相比，具有不同的密度和适用范围。薄膜需要低电阻和良好的表面均匀性，但成本较高。氧化铟锡粉末是制备氧化铟锡靶材的主要原料。铟锡氧化物，其比例约为90% In2O3和10% SnO2，被压制成板形，然后在热点烧结，以形成所需的产品或目标。

显示器的生产和使用方式是将氧化铟锡靶材放入true 空溅射设备中，通过true 空溅射在玻璃基板上涂覆ITO靶材，在玻璃上形成透明导电层，即ITO导电玻璃。这类技术多用于LCD、ECD、ELD等显示器生产。

相关案例

由于显示行业的发展，近几十年来，氧化铟锡的使用量大幅增加。工作场所也有大量工人从事相关作业，工作场所的ITO风险和健康危害暴露逐渐引起人们的关注。报告的氧化铟锡或铟暴露导致健康危害的病例包括日本吸入氧化铟锡导致肺部疾病10例，美国4例，中国铟中毒1例。日本因吸入氧化铟锡导致肺部疾病的前两起报告病例发生在同一家生产薄膜晶体管液晶显示器用氧化铟锡溅射靶的金属加工厂。这两例，医生都是因为干咳呼吸困难才开始就医的。经过一系列诊断，发现肺纤维化。这两种情况下，血液中的铟浓度分别为290 g/L和51 g/L，肺部有许多细小颗粒。经扫描电镜X射线光谱分析，这些颗粒为氧化铟和氧化锡，故判定为吸入氧化

国内报道的铟中毒案例是江苏某手机液晶屏工作的工人，工作是在液晶屏模板上喷涂金属粉末。该工人起初因严重咳嗽、哮喘、持续发热而去大医院做CT检查，发现肺部布满雪花状白色颗粒，肺泡内有牛奶般的乳白色液体。除了氧化硅和氧化铝，肺泡内的白色颗粒中还有铟，血液中铟的含量是普通人的300倍。此人被诊断为铟中毒。

毒理学和接触途径

相关动物实验发现，铟、氧化铟锡和铟化合物可引起肺和生殖系统损伤。2006年，IARC将磷化铟归类为2A集团。职业接触限值，中国大陆:聚氯乙稀-三氟甲烷0.1毫克/立方米，聚氯乙稀-斯特尔明/立方米。

曝光路线是在铟锡氧化物溅射靶制造厂。虽然表面研磨和切割操作是在封闭的湿式系统中进行的，但喷洒在机器周围的含有氧化铟锡的液滴和废水会蒸发至干，导致氧化铟锡粉尘悬浮在空气体中，吸入人体后会导致肺部疾病。同时，由于铟的熔点较低，所以在溅射靶附着在背板上时，使用铟作为焊料。铟金属烟雾会在高温下产生，在没有适当保护的情况下通过呼吸进入人体。在铟锡氧化物溅射靶回收厂和废物回收厂，在粉碎铟锡氧化物溅射靶或屏幕时，含有铟化合物的粉尘会通过呼吸进入人体。另外，TFT-LCD屏生产厂家使用的氧化铟锡溅射靶多在密闭的机器中进行，人员直接暴露的可能性不高。但是，在预防性维护期间，维护人员在精加工和研磨氧化铟锡溅射靶的表面时，可能会暴露氧化铟锡粉尘而没有适当的个人防护。

控制措施

破碎、研磨、切割和溅射靶与背板之间的粘接区域应有足够的、合适的局部排气设施。

粉碎、研磨、切割铟、氧化铟锡和铟化合物，连接溅射靶和背板时，建议工人佩戴防尘口罩，避免吸入铟、氧化铟锡和铟化合物颗粒和烟雾。

使用适当的眼睛和手保护装置，防止灰尘颗粒飞溅或接触。

工作时应穿工作服或防尘服，回家前应换衣服，以免带灰尘回家。工作服或防尘服应在工厂清洗。

工作场所禁止放置饮用水和食品，以免因污染误食，避免在工作场所进食或休息。