多晶硅厂的长期困扰始终是还原炉掉棒。长期掉杆现象会对生产设备造成损坏，甚至可能造成事故和人身伤害。通过对多晶硅生产中还原炉掉棒现象的总结和分析，提出了掉棒的主要原因和预防措施。
改良西门子法工艺成熟，安全性高，适合工业化生产，是多晶硅生产的首选。在此过程中，高纯三氯氢硅和氢气在高温硅芯表面反应生成多晶硅。硅芯沉积生长过程中，由于多种原因，炉内硅棒重心偏移或操作不当导致炉内多晶硅棒坍塌断裂。还原炉内掉棒会对设备造成严重损坏，也会增加设备对多晶硅产品的污染。
4.提高过程控制的操作水平
在生长的前、中、后期，每个还原炉的www.okcis.cn/hyk-k280358.html应根据相应的曲线进行加料和升降，以保证硅棒不同时期的表面温度，使沉积反应能在硅棒表面有效进行。在加料过程中，阀门应缓慢移动，以免炉内压力波动大，使硅芯晃动。
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