" MO源"专题之铟、镓一大下游消费产业分析——mo源

一、MO源介绍

MO源是高纯金属有机源，是利用高级金属有机化学气相沉积(以下简称“MOCVD”)工艺生成化合物半导体材料的重要支撑原材料，因此也被称为MOCVD的“前驱体”。MO源的质量直接决定最终部件的性能，因此MOCVD过程对MO源的质量要求很高。其中纯度是衡量MO源质量的关键指标。

理想的M0源通常应具有以下特征：

1.室温以下蒸气压最好大于13.33Pa。

2、杂质含量低于10-6，越纯越好。

3、在集装箱内可以长期稳定存在，不会发生分解。

4、毒性小，避免对环境造成危害。

高纯金属有机化合物(M0元)和部分元素的有机化合物或氢化物根据氢或氩等载体气体的运输按一定比例混合，通过高温反应炉反应，生成化合物半导体物质，以晶体形式沉积在衬底上。MOCVD过程沉积砷化(GaAs)、硒化锌(ZnSe)膜的基本化学反应如下：

MO合成的化合物半导体是两种以上元素化合的半导体材料，根据其中所含元素的数量，可以分为二元系(如氮化镓间)、三元系(如氮化镓人)、四元系(如磷铝铟磷镓)。特别是在元素周期表中，-元素生成的化合物(如氮化镓间、磷化铝镓InGaAlP、砷化铝AlGaAs等)由于电子迁移率高、波段宽、光电特性好，被广泛用于LED、新一代太阳能电池(包括砷)

二、MO源应用程序

MO酱是制备LED的核心原材料之一，目前90%以上的- MO酱用于生产LED外延薄膜，外延薄膜正在成长为LED产业链中技术上最困难、附加值最高的环节。此外，MO源正在逐步进入新一代太阳能电池领域，如非晶硅薄膜太阳能电池、砷化镓太阳能电池等。相变存储器、半导体激光、射频集成电路芯片等其他高科技领域也有望得到应用

LED产业是MO源最重要的应用领域，也是目前MO源产业发展的主要动力，MO源在LED领域的应用占MO源全部应用的90%以上，因此MO源的产品价格影响与LED行业的景气程度密切相关。从2012年开始，随着全球LED行业增速放缓，年增长率低于5%，LED行业经济下滑，带动MO元的产品市长/市场价格开始下降。

1968年，美国罗克韦尔首次采用MOCVD工艺，成功地在绝缘衬底上制备了砷化镓(GaAs)单晶膜。

20世纪70年代，美国和日本相继开始开发MO供应源。

20世纪80年代，美国、日本、英国等国家先后开发了60多种MO源，实现了产业化。由于MO来源在化合物半导体和航天领域具有重要的战略意义，发达国家为了保持政治考虑和技术优势，严厉限制了MO来源产品的出口。

为了打破国外在MO源领域的垄断，保障我国半导体产业的顺利发展，我国从“七五”开始将MO源的开发纳入863计划及国家重点科技攻关项目，并逐步进入产业化。

三、产业链和工艺流程

某源产业链

主要流程流

生产MO酱的工艺主要包括合成、精制、分析和填充四个部分，其中三甲基镓和三甲基铟的工艺流程图如下。

LED生产过程

砷化镓太阳能电池生产工艺

四、MO酱产业格局和相关企业

MO原业R & ampD及生产工艺技术、品牌准入、人才壁垒高，全世界泛国内能达到量产出货水平的公司只有少数，MO原行业具有寡头市场的特点。

世界主要的MO原生产企业有Dow、SAFC Hitech、Akzo Nobel、南大光电等。目前，美国在MO酱的能力和技术上都处于领先地位。Dow和SAFC Hitech都是美国企业，荷兰公司Akzo Nobel的生产工厂也在美国。南大光电是国内唯一拥有自主知识产权，实现MO园产业化生产的企业，产品质量达到或超过国际先进水平。

国内外知名企业