华润上华 华润上华承担的“MEMS专项”通过国家正式验收

2018年1月31日，无锡华润尚华科技有限公司、北京大学、东南大学、江苏物联网研发中心、上海微系统研究所、中科院等8家单位联合承担了国家02重大科技项目“集成电路与传感器集成制造与生产技术”(简称“微机电专项工程”)，该项目在无锡华润微电子通过了正式验收。

微机电系统专项的主要研究任务和目标是以集成电路和传感器制造(包括芯片和微机电系统制造和系统封装)的研发为重点，解决和掌握与CMOS工艺兼容的微机电系统规模制造的一系列关键技术、集成产品设计和封装技术。建立专业化、规模化的硅基集成电路和MEMS传感器开放式OEM平台，实现规模化生产，成为中国集成电路和传感器集成制造、生产和服务中心，为“感知中国”建设发挥核心支撑平台作用。

在国家02重大科技项目的大力支持下，微机电系统通过产学研结合和完整产业链的垂直整合，突破了微机电系统传感器加工技术的诸多技术难点，解决了制约我国微机电系统规模化生产工艺一致性和稳定性差的关键问题。成功建立了中国第一条CMOS兼容的MEMS专业贴牌规模生产线。以压力传感器、硅麦克风和红外传感器为代表的六大批量生产工艺平台生产的晶圆总数超过6万片，培育了20多种国产微机电系统设计，通过项目的实施，培养了一支高水平、专业技术能力强的人才队伍。共申请发明专利316项(含国际专利27项)，授权专利165项(含国际专利5项)。建立了微机电系统产品设计服务平台和微机电系统封装测试服务平台，为推动我国微机电系统自主研发体系的发展提供了良好的技术基础。

特别验收会由中央候补委员、2002年特办副总工程师达蒙院士主持。2002年特办总工程师叶亲自参加工程验收。华润微电子陈南翔、温领导及省、市科技局相关领导出席会议。经过任务验收专家组和财务验收专家组对现场验收资料的认真审核、询问和讨论，验收组认为项目任务各项指标均达到合同要求，项目支出符合相关管理规定，验收资料齐全，项目通过正式验收，任务验收得分高91分。

微机电系统技术是华润尚华经过近六年的努力，从零开始打造的核心专用工艺平台，已成为华润微电子在中国颇具影响力、响当当的名片。该生产线的建设和工艺平台的开发解决了国内微机电行业发展的瓶颈。一方面，他们为MEMS产品的国产化做出了重要贡献，推动了国内MEMS产业的发展；另一方面，它将对公司的发展起到关键作用。不仅为公司创造了良好的经济效益，而且微机电系统系列工艺平台的毛利率在公司所有产品和技术中名列前茅；同时，也是华润专注于功率半导体和传感器产品的重要基础。

在验收总结会上，02专项办总工程师叶对项目的成功实施给予了高度评价。他说，在所有02专项中，MEMS项目是完成最好的项目之一，很少能拿到这样的分数。该项目是国家微电子产业发展战略布局中的重要一环。华润微电子作为项目的牵头单位，在项目实施过程中遇到了很多困惑和技术难题，但通过国内优质资源的有效组织，持之以恒，不懈努力，最终取得了良好的效果，充分体现了参与项目的研究人员对微电子的追求和感受；该项目也是促进产学研合作的成功范例。项目整合华润微电子、微电子研究所、微系统研究所、北京大学、东南大学的优质资源和前期研究成果，实现科技成果产业化。最后，他希望华润微电子能够高瞻远瞩，更高层次地规划企业的发展，成为中国领先的微电子企业，为中国微电子产业的发展做出应有的贡献。

推荐培训:

2018年3月30日至4月1日，由微机电系统咨询公司主办的“”活动将在无锡举行。培训内容包括:(1)硅基MEMS制造工艺及典型制造工艺流程的详细讲解；(2)与晶圆级芯片级封装相关的晶圆级凸点、TSV和临时键合工艺(WLCSP)；(3)目前最流行的传感器的特殊薄膜材料(AlN、ZnO、PZT压电薄膜)的制造工艺及应用，如FBAR滤波器、压电麦克风等；

迈穆斯咨询公司