半自动探针台 Probe Station探针台介绍

探针站简介、探针站、探针站分类、探针站可分为手动、半自动、全自动操作，可分为温控探针站、真空探针站X-Y移动行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12 "(可选)卡盘Z轴升降10mm显微镜移动方式Y电动移动行程300mm X 300mm哈克粗调升降9mm、微调升降16mm、微调精密土壤1u可搭配X-Y-Z移动范围为2"x2"x2 "。材质:花岗岩台面+不锈钢可配合探针卡测试。适用领域:12英寸晶圆、集成电路测试产品探针台液晶半自动探针台机械手抓放电动、坐标式找位测量尺寸:800x600、500x400、300x300探针台印刷电路板测量探针台自动探针测试台和x-y工作台自动探针测试台采用日本和欧洲国家制造的精密滚珠丝杠副和直线导轨结构 由于x-y工作台的结构差异很大，其使用和维护不能一概而论，应区别对待 探针台x-y工作台的维护与保养无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y工作台都是其核心部分 有数据显示，探头试验台的故障有一半以上是x-y工作台的故障，而工作台的很多故障是由于维护不当或盲目调整造成的，因此工作台的维护和保养尤为重要 本文仅介绍自动探针测试台x-y工作台的维护 2.1平面电机的维护与保养x-y步进台平面电机由定子和动子组成。与传统步进电机相比，其特殊性在于展开定子。定子是基本平台，动子和定子之间有气垫。动子浮在气垫上，可编程芯片载体安装在动子上。 这种结构的x-y工作台，由于动子和定子之间没有相对摩擦，所以无磨损，使用寿命长 在加工定子的过程中，根据分辨率等不同的设计要求，厂家在一个扁铁铸件上加工了几个线槽。线槽之间的距离称为平面电机的节距，而定子可以借助平面定子和动子之间的气垫，根据不同的细分控制方法和编程操作程序实现步进运动。 定子的损坏将直接影响工作台的步进精度和设备的使用寿命，严重的损坏将导致设备无法使用和报废 由于平面电机的定子和动子完全暴露在空气体中，定子在潮湿的环境下和长期维护不当容易生锈。此外，重物的碰撞和尖锐物体的划伤会对定子造成损坏，影响平面电机的步进精度和使用寿命。对于生锈的定子，可以用天然油石在一个方向轻轻打磨定子表面，然后用浸有煤油的脱脂棉球清洗。整个过程要非常小心。 此外，对定子无腐蚀性和损伤的除锈剂也可用于除锈 正常情况下，定子应定期清洗。清洁时，应将其引入大气中，以便推进器能够移动。方法是用脱脂棉蘸一点95%以上的无水乙醇，然后轻轻擦拭定子表面，再用专用工具撬动起动机。方法和以前一样。动子表面有几个气孔，是定子和动子之间的压缩空空气的出口孔。观察这个气孔是否放气。 重要的是要特别注意，如果不施加压缩空气体，就不能强行拉动动子，以免损坏定子和动子。 平面电机应在环境温度15 ~ 25℃，相对湿度小于50%的环境中使用。它所需要的压缩空气体必须经过干燥和过滤，与环境空气体的温差小于5℃，气压为0.4±0.04 MPa 2.2滚珠丝杠副导轨结构x-y工作台的维护保养与平面电机工作台相比，丝杠导轨结构工作台的结构更加复杂，其绝对位置的精度通过上OTS测量摄像机的相对位置来保证 这是一项非常引人注目的技术，它来自东京尖端的测量技术 OTS用自己的参照物实现了光学对准系统 特点二:QPU-高刚性硅片承载台操作更方便，用UF3000点击显示屏，相关屏幕会切换到新位置显示 相关设置非常方便 屏幕的显示模式也可以由用户定义 设备采购咨询网站13488683602设备使用测试咨询82736620