东湖新技术开发区武汉天马微电子有限公司,年产手机显示屏1亿块。2010年投产,实现了安全生产“零事故”。2016年荣获“武汉安全文化建设示范企业”称号。公司负责人黄长虹表示,员工在生产车间使用刀片时偶尔会割伤手,但专用气房防控措施最严格,已成为全公司最安全的场所。

生产手机屏幕需要“危险化学品”

手机显示屏的处理是在特殊玻璃上打印电路,从而实现触摸屏等功能。公司制造过程中需要六种特殊气体:氯、氨、三氟化氮、六氟化硫、硅烷、磷化氢-氢气混合物,易燃易爆或有毒有害,均属于危险化学品。

昨天上午,记者来到武汉天马微电子公司生产车间。前阵车间生产大型半成品,整个过程需要在恒温洁净车间进行。车间每立方英尺空含有不超过100个直径超过PM0.3的颗粒,是世界上最纯净的地方之一。

大车间里,只有10个左右穿着干净衣服的员工。黄长虹表示,前车间的生产都是自动化设备,现场员工只负责监控生产设备的参数。这些设备的维护部分配备有各种感应和安全联锁装置。当您伸手进去时,设备将停止联动,以防止员工受伤。

双锁氯室

两名工作人员拿着钥匙,打开了两把锁。记者和他一起进入氯室。墙上贴有“谨防有害气体”、“有毒气体”、“谨防腐蚀”、“武汉天马职业危害告知卡”等三个警示标志。氯气是一种黄绿色气体,气味刺鼻,有毒。急性氯气中毒,轻度呼吸系统损害,严重者会导致死亡。

但是天马微电子公司的氯气室是很安全的:氯气是装在一个密封的专用圆筒里,而缸盖阀门是最容易漏气的地方。针对这种风险,公司专门制造了一种带有负压排气装置和气体检测报警器的气缸盖阀箱。阀门发生气体泄漏时,气体检测器会报警并联动切断供气,负压排气可将泄漏气体泵入室外尾气处理装置进行净化。

通向生产车间的氯管为双管:内管充氯气,外管配有检测器,还有负压,可自动监测和排除残留物。

氯气室配有物联网显示屏,工厂哪些区域在用氯气,流量多少。机器、氯室内外和工厂车间都装有几个紧急切断按钮。如果任何一个被异常按压,氯气阀将自动关闭。

进入硅烷室时,请关闭手机

硅烷是世界上唯一一种大规模生产粒状高纯硅的中间产品,广泛应用于微电子和光电行业。然而,它以其独特的自燃性和爆炸性而闻名。它是一种自燃范围广、燃烧能量大的高危气体。

进入硅烷室前,记者被要求关掉手机,把手放在人体静电放电器上。静电放电器上的绿灯在进入前亮起。

硅烷站位于工厂西南角,为半开放式建筑,远离主厂房等建筑设施。墙上安装有火焰探测器等火灾报警装置和雨淋等灭火系统。当室内温度上升或检测到火焰时,自动喷水灭火系统将联动启动。当气体报警检测装置检测到硅烷泄漏时,它还会关闭包括钢瓶阀门在内的硅烷供应系统。

黄长虹表示,硅烷的高危险性在于泄漏后灭火时可能会遇到特殊的危险:释放硅烷时压力过高或速度过快会造成滞后爆炸,如果泄压装置失效也会造成气瓶爆炸。因此,硅烷泄漏后灭火的程序非常复杂。

2015年9月7日下午5点,公司应急中心气体检测系统显示硅烷气柜端出现泄漏报警,现场声光报警器同时发出报警。应急中心值班人员应立即逐级上报,并广播呼叫救援成员集合。应急小组成员集合后,现场将成立临时救灾指挥中心,应急总指挥和相关技术负责人将立即讨论应急预案。

大部分泄漏的硅烷通过设备端的排气自动泵入尾气处理装置,但储气罐中的少量残余气体无法泵出。各方讨论并制定出可行的处理方案后,救灾小组成员穿戴好防护装备,进入现场手动排放气柜中的硅烷。救援人员注意到现场有零星硅烷逃逸和冒烟,立即撤离现场。优化救灾方案后,救援人员再次穿着厚重的防火服进入现场,将气柜内残留的硅烷全部排出并清除。

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