宁波民企攻克国家科技重大专项

近日，国家科技重大项目“大规模集成电路制造设备及成套工艺”实施管理办公室在宁波召开验收会议，由民营企业浙江金锐鸿科技有限公司牵头的“8寸硅片R&D及产业化、12寸硅片关键技术研究”项目顺利通过验收。这标志着中国大直径硅片国产化的重要一步。

集成电路芯片是信息时代的核心基石，硅片是制造集成电路和分立器件的核心基础材料，在整个半导体产业链中发挥着明显的作用。然而，中国长期依赖进口大尺寸硅片，制约了相关产业的发展和供应链安全。《国家中长期科学和技术发展规划纲要》确定了16个重大项目，其中“超大规模集成电路制造设备及完整工艺专项”就是其中之一。

“硅片市场有很强的垄断性。国内月需求量超过70万片，而国内半导体企业的供应量不足10万片。凭借与浙江大学硅材料国家重点实验室多年合作积累的技术优势，我们国产8英寸半导体硅片生产工艺和技术指标不断提高，有实力与国际一线厂商积极竞争。”金锐鸿科技相关负责人表示。

尺寸越大，硅片的技术指标越高，生产难度越大。记者了解到，金锐鸿科技相关团队自承担国家重大科技项目以来，在关键制备技术上不断取得突破，现已全面掌握一批核心技术。截至目前，金锐鸿科技已获得35项相关授权发明专利，制定了40多项行业标准。同时，已成为国内唯一具备硅单晶锭、硅磨片、硅抛光片、硅外延片生产能力的半导体企业，月生产能力为12万抛光片、5万外延片。

在金锐鸿科技等企业的带动下，宁波已成为全国知名的集成电路材料基地，在全省乃至全国处于领先地位。宁波还成立了第一个集成电路产业投资基金，规模100亿元，按照市场化机制运作，旨在建设国家级集成电路特色工艺和特种材料产业基地，规划建设长三角南翼集成电路产业强市。