50多年来,Bisenu一直与欧洲航天局和商业航空空航空航天工业的领导人合作,为关键任务部件提供润滑剂服务,并解决脱气和污染问题。脱气会降低润滑剂的效力,并可能污染附近的部件。经过多年不懈的努力,公司率先开发了各种正品空润滑脂/超正品空润滑脂和正品空密封脂。Bisenu super true 空润滑脂可在true 空度为10-12 mbar的super true 空环境下正常工作。我们的产品有特殊的配方和专利技术。它能长时间保持柔软柔顺,不易变质变硬,蒸汽压低,从而实现最长的工作维护周期。目前,大部分研究已经在其他行业取得了回报,其中PSEINU正在应用该技术为洁净室、实验室和半导体制造设施的组件和子组件设计润滑剂,包括真空和非真空应用。true 空的应用领域一般分为玻璃厂true 空涂装线设备、true 空炉,采用Bistro T . LIGHT-55万能true 空LIGHT,用于自动化、运动控制系统、true 空测量系统True 空高低温位移台螺杆、true 空防辐射位移台、True空高低温辐射
在真空电缆和驱动控制系统条件下,使用Bisenu T . GROOVE-59/BG super true空润滑脂和T . GROOVE-55 universal true空润滑脂。在航空空航天和太空领域,如航天器、人造卫星、火箭系统等。,Bisenu T . LIGHT-56NL超真空低温润滑脂被广泛认可并推荐为低温真空润滑脂。这种低温润滑脂是专门配制的,在低温下表现出无裂纹性能,可以承受-265℃和+80℃之间的交替温度环境。具有填充表面附近微孔的能力,从而改善热接触。与无硅润滑脂有关的“蠕动”或“停滞”等污染问题,在20°C和6×10-10托的蒸汽压力下具有内置的抗辐射能力,并具有很强的“吸附”能力,可吸收金属和玻璃表面潜在的有害油脂和化学杂质,且易溶于烃类溶剂,便于清洗和除垢。半导体晶圆制造、平板、太阳能电池板、LCD制造设备中的各种机电设备对润滑剂的要求越来越高。今天的润滑剂必须能够处理更高的负载和温度,延长部件的使用寿命并提高生产率,同时消除或减少空气体中的分子污染或释放蒸汽,这些气体可能会使高速检测系统中的光学器件雾化,甚至污染晶片。bisa nu T . LIGHT-58/HS super true 空LIGHT的出现旨在提高半导体制造设备中使用的高速轴承、运动控制直线导轨、true空泵等部件的性能,延长其使用寿命,这些部件是专门为沉积等工艺、离子注入、刻蚀、光刻以及晶圆测量和检查而设计的。t .润滑脂-58/HS true 空润滑脂用于改善样品舟和低温恒温器冷头之间的热接触。这种低温热接触润滑脂确保样品能够在尽可能低的温度下提高测试灵敏度。t .润滑脂-58/HS在改善低温下的热接触方面有良好的记录。对于冷却系统来说,耦合超导磁体、低温恒温器、温度传感器或任何需要尽快实现低温冷冻的系统是非常重要的。低磁化率也使它成为超导体制造应用的理想选择。虽然速度、均匀性和清洁度使自动装配设备成为半导体制造的标准,但它们也提出了润滑的难题。油脂确实可以帮助生产线上的机器人、取放站、输送机、阀门、开关等设备运行得更好,寿命更长。但它们也会在空气体中造成分子污染,或者更糟糕的是,它会释放蒸汽,使高速检测系统中的光学系统雾化,甚至污染晶片。然而,与润滑剂相关的问题可以最小化或消除。例如,航空空航空航天工业几十年来一直致力于为关键任务部件提供合格的润滑油,解决润滑剂脱气、污染和饥饿问题。大多数研究已经成功地应用于洁净室、实验室和半导体制造设施中的子组件润滑剂的设计。润滑剂减少摩擦,相邻材料的法向力乘以摩擦系数,即较软材料在剪切和压缩下对塑性变形的阻力。在接触面之间添加润滑剂可以降低摩擦系数,从而减少部件的磨损,最终延长使用寿命。固体和液体可以用作润滑剂。固体润滑剂有石墨、二硫化钼、聚四氟乙烯粉末等,容易磨损。一般来说,所有的合成油都可以承受更宽的温度,并且在化学性质上与天然同类产品更加一致。某些合成油具有额外的优点,这将在下面讨论。一般来说,油被指定用于跳蚤发电厂,在那里即使是最轻的油脂也不能克服可用的扭矩。油脂介于固体和液体润滑剂之间。半固体是一种用增稠剂固定的油。不像油需要紧密密封的容器来防止迁移,油脂依赖肥皂、粘土或固体润滑剂增稠剂来保持润滑液在需要的地方。为任何应用选择合适的润滑剂需要仔细考虑每种成分,这是从基础油开始的任何润滑剂的最大百分比组成。合成基础油化学的一般类别包括:合成聚α烯烃、合成酯、硅氧烷、多烷基化环戊烷、聚苯醚和全氟聚醚。每一种都给洁净室和半导体制造带来不同的优势。专业会计组织通常是成本最低的选择。它们具有良好的抗磨损性能和使用传统添加剂的能力。然而,当更高的温度或最小脱气至关重要时,PAO并不总是实现。合成酯和有机硅在性能和成本上都优于PAO。因为酯具有高极性,所以在室温下测定高分子量润滑剂的蒸汽压是不切实际的,因为微量除气将非常难以测量。因此,朗缪尔方程用于计算几种高温下的蒸汽压力,这些值用于计算25℃下的蒸汽压力..它们本质上是很好的边界润滑剂。与PAO相比,它们具有较低的蒸汽压和较高的热氧化稳定性。然而,酯类应该引起警告。它们与许多商用聚合物和弹性体发生化学反应,在酸、碱和某些金属存在的情况下,它们很容易发生化学分解。在任何情况下,润滑剂性能和部件都会受到严重损坏。与PAO和酯相比,硅酮表现出显著改善的性能。它们具有更宽的使用温度范围、优异的低挥发性和良好的热氧化稳定性。然而,它们是非常“可压缩”的分子。虽然这种性能在润滑塑料和轻载金属方面没有问题,但在较高负载的金属对金属应用中,硅酮不能提供与酯或PAOs相同的耐磨性。MAC、PPE和PFPE——都是高分子量材料——代表了合成化学润滑的最新发展。虽然它们的价格相对较高,但它们独特的性能使它们非常适合半导体制造的需要。MAC表现出极低的蒸汽压,可以很容易地通过特定应用的添加剂来增强,并提供良好的热氧化稳定性和化学相容性。个人防护装备在润滑电气连接器方面有着悠久的历史。它们具有优异的蒸汽压特性和独特的优势——增强抗辐射的标准——比其他合成化学品好一两个数量级。尽管在边界润滑条件下,它不如其他一些合成化学品坚固,但PFPE以其关键应用而闻名,尤其是在低蒸气压、宽温度、化学惰性和材料兼容性非常重要的情况下。
虽然每种润滑剂的设计应满足温度、负荷、扭矩等特定设备的要求,但在真实空或洁净室使用的润滑剂也必须满足刚性蒸汽压力标准。蒸汽压是进入气相的分子在液体表面正上方的假想表面上施加的每单位面积的力。在润滑设计中,当比较不同的油或其他润滑剂组分变得挥发性的趋势时,这一特性非常有用,挥发性增加了蒸发损失造成污染的可能性。所以蒸汽压越低,润滑剂越好。在true 空中测得的润滑剂的蒸汽压可用朗缪尔方程确定:P=17.14 G1/2,其中P是以Torr为单位的蒸汽压,G是除选择低蒸汽压、高分子量基础油之外的另一个重要的润滑剂标准。True 空和洁净室应用。在润滑剂的制造过程中,灰尘、污垢甚至不适当分散的增稠剂都会夹带在油或油脂中。例如,在滚动轴承中,颗粒或聚集的增稠剂会损坏将球与滚道、疤痕球和滚道分开的弹性动态膜,从而损害性能并缩短使用寿命。事实上,随着材料科学的发展,大多数轴承已经失效。蒸发速率以g/cm2/s为单位,t是温度,以K为单位,m是物质的分子量。设计润滑剂时,要润滑的装置的表面积和操作环境的温度都是允许的。因此,上述方程强调了分子量的重要性,分子量是设计低蒸汽压润滑剂时选择基础油的一个变量。低放气的最佳候选物是高分子量的基础油,如MAC、PPE和PFPE。此外,由于基础油中的每个分子可以具有稍微不同的分子量,所以分子量范围可以更好地变窄。通过特殊的蒸馏工艺,可以在润滑剂制造过程中去除较轻的材料,而不是等待它们在工作过程中挥发和污染。值得注意的是,虽然“true 空润滑剂”的大多数供应商都有规定的蒸汽压力数据,但这些数据很少是测量每批润滑剂的结果。如果没有严格的控制,两批相同润滑剂的蒸气压可能相差几个数量级。因此,为了最好地利用蒸汽压力数据来确定润滑剂的排气潜力,应该进行每一批分析。一般任何低于超净润滑剂的物质都会影响设备的精度、重复性和使用寿命。超滤可以改善这些问题。先进的生产前和生产后过滤工艺。超滤使油脂中的增稠剂均匀化,并去除油脂中小到1微米和35微米的颗粒。既然各种军用标准都定义了润滑剂的清洁度,那么超滤至少会告诉用户润滑剂中颗粒的相对大小,而这个信息可以用来提前确定这是否对操作有害。半导体行业包含大量机电设备,其性能和使用寿命取决于选择合适的润滑剂。没有化学能可以满足所有的需求。然而,在一些地方,在各种基础油化学品、胶凝剂和添加剂中,结合在真实空和洁净室环境中设计和制造润滑剂的方法,对于半导体制造环境中的每个部件,都有理想的真实空润滑剂。
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