sih4 国瑞仪器WASP-XM-E-SiH4硅烷气体检测仪

硅烷是硅和氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和一些较高级的硅氢化合物。目前广泛使用的是甲硅烷。硅烷一般简称硅烷。

硅烷作为提供硅成分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅和各种金属硅化物。由于其纯度高、可控性好，已成为许多其他硅源无法替代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子和光电子行业，用于制造太阳能电池、平板显示器、玻璃和钢铁涂层，是世界上唯一大规模生产粒状高纯硅的中间产品。

硅烷的高科技应用不断涌现，包括制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等。，并成为许多新技术、新材料和新装置的基础。硅烷也因其独特的自燃性和爆炸性而闻名。硅烷的自燃范围非常广，燃烧能量很强，这就决定了它是一种高度危险的气体。

硅烷的物理化学性质

基本物理性质

1.性质:无色气体，有大蒜恶心气味。

2.密度(克/升，25℃):1.44

3.相对蒸汽密度(克/毫升，空气体= 1): 1.2

4.熔点(摄氏度):-185

5.沸点(摄氏度，常压):-111.9

6.沸点(摄氏度，760毫米汞柱):-112

7.汽化热(千焦/摩尔):12.5

8.熔化热(千焦/摩尔):0.67

9.生成热(千焦/摩尔):32.6

10.比热容(kj/(kg·k)，25c): 1.335

11.临界温度(c):-3.5

12.临界压力(MPa): 4.864

13.溶解度:溶于水，几乎不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿、硅氯仿、四氯化硅。

14临界体积:151。5(计算)/136。75(测量)cm3/mol。

化学性质

硅烷的点燃和爆炸是与氧气反应的结果。硅烷对氧气和空气体非常敏感。一定浓度的硅烷在-180℃会和氧气爆炸。固体硅烷与液态氧反应非常危险。硅烷燃烧时，火焰呈暗黄色，在氧气充足的条件下反应:

si H4+2o 2 = SiO 2+2H2OδH =-362千卡/摩尔

如果氧气不足，会发生不完全氧化反应:

si H4+O2 = SiO 2+2h 2δH =-226千卡/摩尔

燃烧产生的高温也会导致一些未反应的硅烷发生热分解反应:

Si H4 = Si+2 H2δH =-8。2千卡/摩尔

硅烷的毒性数据

Ld50:-lc50: 9600ppm/4h

毒性影响:

其他注意事项:发现小鼠暴露于10000ppm小时或≥2500 ppm 4小时，肾脏会受到影响。暴露于1000ppm小时/天和5天/周的小鼠在2至4周后仅有轻微的呼吸刺激。硅烷会导致细菌变异。

致癌性:至今未发现致癌性。

硅烷生态数据

可能的环境影响/环境分布:

水中毒性:-

流动性:由于在空气体中自燃，进入土壤前会燃烧。

可持续性和生物降解性:硅烷在空气体中燃烧分解，不会长期存在于环境中。

潜在生物累积性:硅烷不会在生物体内累积。

注:硅烷不含任何分解臭氧的1类或2类化学物质。

硅烷稳定性

避免强氧化剂、强碱和卤素。在标准状态下，气体密度为1.44克/升，液体的相对密度为0.68(-185℃)。蒸汽压分别为11毫微克(1毫微克= 133.322帕)(-160℃)、102毫微克(-140℃)和470毫微克(-120℃)。红外光谱的波长为2191cm-1和914cm-1。它在室温下呈气态，在储存过程中几个月内没有明显的分解。因为甲硅烷几乎不溶于油脂，所以可以存放在涂有油脂的瓶塞的容器中。

硅烷的化学性质比烷烃活泼得多，容易被氧化。与空气体接触时可能会发生自燃。25℃以下不与氮气反应，室温下不与碳氢化合物反应。与氧气的反应极其激烈，即使在-180℃也会发生剧烈反应。

硅烷与含氯氟烃灭火剂反应剧烈，因此这种灭火剂不能用于灭火。爆炸极限为0.8% ~ 98%。

硅烷应用

硅烷是德国化学家H·Buff在1857年发现的。在接下来的100年左右，硅烷只是实验室少数研究人员的研究对象，没有任何用处。随着20世纪50年代半导体技术的兴起，人们开始考虑硅烷的特殊性，硅烷开始在电子工业中应用。自20世纪80年代以来，硅烷的应用发生了很大变化。随着一系列新技术的出现或用硅烷开发新产品的成功，硅烷的用量急剧增加。工厂每年要将数千吨硅烷加工成超纯半导体硅，数百吨气体用于制造各种新材料和器件。考虑到这些应用中大多数器件消耗的气体量仅为毫克甚至微克，而硅烷制成的薄膜厚度为微米级，可见上述硅烷的量不是一个小数目。20世纪90年代，大量新的功能器件问世，包括超高速超大容量计算机芯片、高清平板显示器、高效低成本太阳能电池、高性能陶瓷发动机零件、各种具有特殊功能的传感器等。更多更新的设备仍在出现，硅烷被用于这些设备。

硅烷之所以广泛应用于高科技领域越来越重要，首先与它的特性有关，也与现代高科技的特殊需求有关。通过热分解或与其他气体发生化学反应，可以由硅烷制备单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。使用硅烷可以实现最高的纯度、最精细的控制(原子级)和最灵活的化学反应。因此，各种含硅材料可以根据各种需要制成复杂精细的结构，这是现代材料和各种特殊功能器件所需要的基本条件。

硅烷最早被用作生产高纯硅的中间产品，目前使用最广泛，一般称为硅烷法。传统上，生产高纯硅的主要方法是三氯氢硅法(西门子法)。

硅烷的另一个应用是非晶半导体非晶硅。与单晶半导体材料相比，非晶硅的特点是容易形成极薄(约10纳米厚)的大面积器件。基板可以是玻璃、不锈钢甚至塑料，表面可以是平的，也可以是弯曲的，因此可以制成各种性能优异的器件。

硅烷已经成为半导体微电子技术中最重要的特种气体，用于制备各种微电子薄膜，包括单晶薄膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用仍在深入发展:低温外延、选择性外延和异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等。).也可用于超晶格量子阱材料的制备。可以说几乎所有现代先进集成电路生产线都需要硅烷。硅烷的纯度对器件的性能和产率有很大的影响，更高级的器件需要更高纯度的硅烷(包括乙硅烷和丙基硅烷)。

硅烷作为含硅薄膜和涂层的应用已经从传统的微电子工业扩展到钢铁、机械、化工和光学等各个领域。含硅涂层可将普通钢的高温抗氧化性提高到10万倍以上，大大提高其他金属的高温化学稳定性，显著增强内燃机叶片的耐腐蚀性，大大提高各种材料与零件之间的结合强度，延长汽车发动机零件的使用寿命，改变玻璃的反射和透射性能，从而达到显著的节能和装饰效果。浮法玻璃生产过程中，采用硅烷在玻璃表面涂覆一层反射层，附着力强，在长时间的太阳光照射下不褪色，透光率仅为普通玻璃的1 /3，涂覆氮化硅的大面积多晶硅电池(BSNSC)达到了15的高效率。7%.硅烷气相沉积技术制备的各种含硅膜在高科技中的应用日益增多。

硅烷的另一个潜在应用是制造高性能陶瓷发动机零件，特别是用硅烷制造硅化物(Si3N4、SiC等)。)微粉。美国、日本等国家正在花费数十亿美元开发由硅、氮化硅、碳化硅微粉制成的耐高温、高强度、高化学稳定性的陶瓷。硅烷气相反应制备的微粉纯度最高，粒度细小均匀，可大大提高陶瓷零件的性能。它的应用领域非常广泛，例如汽车发动机的气门和涡轮增压器转子已经投入使用，高速轴承和高性能工具已经商业化。用于内燃机时，工作温度可达1400℃，大大提高了热机的效率，适用于各种燃料，延长了使用寿命；此外，它还可以用作隔热瓦和火箭的隐身保护层。

硅烷中的注意事项

危险识别

危险:

眼神交流:硅烷会刺激眼睛。硅烷的分解产生无定形二氧化硅。眼睛接触无定形二氧化硅颗粒会引起刺激。

吸入:1。吸入高浓度硅烷可引起头痛、恶心、头晕和上呼吸道刺激。

2.硅烷会刺激呼吸系统和粘膜。过量吸入硅烷会导致肺炎和肾病，这是由于结晶二氧化硅的存在。

3.暴露在高浓度气体中也会因自燃而导致热烧伤。

摄入:摄入不太可能是接触硅烷的途径。

皮肤接触:硅烷会刺激皮肤。硅烷的分解产生无定形二氧化硅。皮肤接触无定形二氧化硅颗粒会引起刺激。

慢性症状:长期接触硅烷对健康的进一步影响尚不清楚。

受损器官:未建立

过度接触导致的加重:皮肤和呼吸道疾病患者接触硅烷及其分解产物会加重病情。

致癌性:未被国家环保局、职业安全与健康管理局和IARC列为致癌物。

硅烷急救措施

不同暴露途径的急救方法:

热烧伤:当人因硅烷泄漏而烧伤时，经过培训的人员应立即进行急救和就医。

眼神交流:立即用水冲洗至少15分钟，不要流得太快，同时睁开眼皮。使受害者眼睛呈“O”形，并立即寻求眼科治疗。

吸入:尽快将患者移至空气新鲜的空处。如有必要，应由经过培训的人员进行氧气或人工呼吸。

皮肤接触:1。用大量水冲洗至少15分钟。脱下暴露在硅烷或被污染的衣服，注意不要触摸眼睛。

2.如果患者有持续的刺激或其他进一步的健康影响，应立即进行药物治疗。

医生说明:必要时应吸氧。观察患者是否有肺炎的首发症状。

硅烷灭火措施

适用灭火剂:切断气源灭火。使用水雾减少空气体中形成的燃烧产物。不要使用卤化物灭火器。用水冷却暴露在最远距离火焰中的钢瓶。

消防过程中可能遇到的特殊危险:

1.自燃气体。本品无色，易与空气体反应。这种气体通常与空气体接触，会引起燃烧，散发出浓稠的白色无定形二氧化硅烟雾。

2.如果释放硅烷时压力过高或速度过快，会造成滞后爆炸。泄露的硅烷如果不自燃是非常危险的，所以不要靠近它。

3.大多数钢瓶在温度上升时设计有减压装置。由于热量的作用，气缸内的压力会上升，如果减压装置失效，气缸就会爆炸。

特殊灭火程序:

1.疏散泄漏区域的所有人。如有可能，切断气源后根据燃烧物质灭火，无危险。

2.使用水雾减少空气体中形成的燃烧产物。水可能对熄灭硅烷火没有影响。

3.不要使用卤化物灭火剂。如果可能，防止泄漏。

4.在切断空气供应之前，不要试图灭火。这样可以避免可燃气体混合物的积聚和重燃。

5.对于小泄漏，如果泄漏无法阻止且不会对人造成伤害，让火焰自然熄灭。向周围的钢瓶喷洒大量的水来冷却它们，直到火焰熄灭。

6.在大型火灾中，应使用自动管道支架和控制喷嘴远距离灭火。

7.处理火灾时，保护好你的眼睛。发生火灾时，需要自给式呼吸器和全身防护服，包括防火服。如有必要，用肥皂水刷灭火设备。

有害燃烧产物:包括二氧化硅在内的燃烧产物。

硅烷泄漏的处理

清洁方法:

1.立即撤离受影响的地区。

2.硅烷是一种自燃气体。这种气体通常与空气体接触，会引起燃烧，放出浓稠的黄色无定形二氧化硅烟雾。

3.不受控制的泄漏需要由经过培训的人员根据预先准备的计划进行处理。硅烷泄漏通常会引起火灾。

4.如果硅烷释放时压力过高或速度过快，会造成滞后爆炸。泄露的硅烷如果不自燃是非常危险的，所以不要靠近它。

5.如果可能，切断泄漏的气源，隔离泄漏的钢瓶。如果无法防止泄漏(或无法接近阀门)，让钢瓶就地排放，或将钢瓶移到安全的地方排放。

6.如果容器和减压阀或其他阀门泄漏，请联系供应商。

7.如果泄漏来自用户系统，关闭钢瓶阀门，释放压力，在修理前用惰性气体吹扫。

8.应保护所有人员，并控制泄漏区域。

9.所有应急人员都应该有适当的保护，以避免暴露在硅烷中。监控周围环境中的硅烷含量。只有当硅烷含量在允许范围内(见第二部分)时，人员才能不带自给式呼吸器进入。进入前，可燃气体浓度必须低于0.14%，即硅烷LEL的10%。进入前尽量关闭煤气总阀。

硅烷的安全处置

保存:

1.储存在通风良好、安全且不受天气影响的地方。钢瓶应该直立放置。并保持保护阀盖和输出阀的密封完好。

2.储存区应远离经常出入的场所和紧急出口。储存区内不应有火源，储存区内所有电器必须有防爆设施。可燃储存区应距离氧气和氧化物储存区至少20英尺。

3.或者在中间放一个至少5英尺高的不易燃材料作为屏障，保证能耐火半小时。储存和使用区域应有“禁止吸烟和明火”的标志。4.储存温度不得高于125℉(52℃)。将空瓶与满瓶分开存放。避免过度储存和长时间储存。

5.采用先进先出制。应考虑在储存区安装检漏仪和报警设备。

使用:

1.使用防火工具。不要试图修理、调整或改变含有硅烷的钢瓶。

2.如果出现故障或其他操作问题，请立即联系最近的经销商。

3.如果可能，避免单独操作钢瓶。所有操作的进行方式应确保在发生泄漏时，应急人员能够立即到达。

4.用氢离子探测器监测空气体中硅烷的修复和扩散，用红外/紫外探测器监测火灾。所以所有显示器都要有内部锁，一旦发现问题可以自动切断硅烷气源。

5.监控系统应配备备用或应急电源。必须有远程紧急开关，必要时可关闭硅烷气源。

6.硅烷系统不允许使用压力灌装阀，只允许使用非压力灌装隔膜阀和波纹管阀。过流阀或过流开关应安装在其配电系统中。这样下游管道发生爆炸时就可以切断气源。该开关阀应安装在尽可能靠近气源的地方。

7.切勿拉动、滚动或滑动容器。使用合适的手推车移动容器。不要试图握住钢瓶的盖子来提起它。确保气缸在整个使用过程中处于固定状态。

8.使用减压器或独立控制阀从钢瓶中安全释放气体。止回阀用于防止回流。不要用明火或其他附近的热源加热钢瓶的任何部分。

9.一旦钢瓶连接到吹扫和钝化系统，慢慢地小心地打开钢瓶阀门。如果用户操作钢瓶阀门有困难，停止使用，联系供应商。

10.不要插入工具(如扳手、螺丝刀等)。)装入阀盖。否则会损坏阀门，造成泄漏。

11.用活动扳手打开太紧或生锈的阀盖。所有管道和相关设备均接地。电气设备必须防火防爆。

特殊注意事项:

1.系统温度不应低于-170 ℉ (-112℃)，否则可能吸入空气体形成爆炸性混合物。

2.不要让硅烷与重金属卤化物或卤素接触。硅烷与它们发生剧烈反应。系统应仔细清洗，以防止其中含有脱脂剂、卤素或其他含氯碳氢化合物。

3.使用两到三倍的工作压力对系统进行全面加压，以进行泄漏检测，最好使用氦气。此外，应建立并实施常规泄漏检测系统。

4.系统因检漏或其他原因打开后，系统中的空气体应通过真空泵空或惰性气体吹扫吹干净。在打开任何含有硅烷的系统之前，必须用惰性气体完全吹扫系统。如果系统的任何部分有死角或硅烷可能残留的地方，必须泵入空进行循环吹扫。

5.硅烷要排到专门处理的地方，最好烧掉。即使硅烷浓度很低，也非常危险，不能暴露在空气体中。硅烷被惰性气体稀释成不可燃气体后也可以排出空。

6.压缩气体的储存和使用应符合美国压缩气体协会的要求。地方当局可能对气体储存和使用有特殊的设备要求。

硅烷预防措施

工程控制:硅烷检测器应安装在产品使用和储存的区域或其附近。提供足够的自然通风或防爆通风，以防止气体浓度增加，并确保硅烷不会达到1.4%的燃烧下限。如果适用，安装自动监控设备以检测爆炸性混合气体空和氧气含量。

控制参数:

每天八小时的平均允许浓度(TLV):5 ppm

短时间平均容许浓度(stel):-

最大允许浓度:-

生物指针:-

个人防护设备:

呼吸保护:

1.能引起快速窒息的高浓度也在其燃烧极限内，不能进入。

2.紧急情况下应使用自给式呼吸器逃生。

眼部保护:

1.佩戴防溅眼镜或带侧护和面罩的安全眼镜。

2.确保在使用产品的附近有安全的淋浴和洗眼器。

皮肤和身体保护:搬运钢瓶时使用工作手套，紧急情况下使用防火手套和防火服。处理泄漏时，戴上两对手套。

其他防护用品:工作时使用合适的个人防护用品，建议使用防静电服，操作气瓶时建议穿安全鞋。

硅烷废物处理

未使用产品的钢瓶/空:将容器和未使用的产品退还给供应商。不要擅自处理剩余或未使用的产品。

处理方法:系统中残留的硅烷应在合适的燃烧器中烧掉。该过程应根据当地法规进行。含有这种物质的废物被环保局列为危险废物。根据当地的规定，用户应指明废物的流向。

硅烷运输信息

国际运输法规:危险等级:2.1(可燃气体)

UNNo。:UN2203

国内运输法规:

招牌:可燃气体

特殊运输方法及注意事项:气瓶应直立在通风设施良好的卡车上运输，不得在有人乘坐的车厢内运输。运输前，确保瓶阀关闭，输出阀已安装，阀盖已固定。压力钢瓶只能由合格的压缩气体制造商重新灌装。未经所有压力气瓶制造商的许可或书面同意，运输气瓶是非法的。

实验室制备:金属硅化物与酸反应，通常由硅化镁和稀硫酸制备。

硅烷运输信息

包装方式:钢质气瓶；安瓿外普通木箱。

运输注意事项:使用刚性气瓶运输时，必须佩戴钢瓶上的安全帽。圆柱体一般是平的，瓶口应朝向同一方向，不应交叉；高度不得超过车辆栏板，并用三角木垫固定，防止滚动。运输车辆在运输过程中应配备相应品种和数量的消防设备。运载货物的车辆排气管必须装有阻燃装置，严禁使用易产生火花的机械设备和工具装卸。严禁与氧化剂、碱、卤素和食用化学品混合。夏季早晚运输，防止日晒。中途停留时远离火种和热源。道路运输应遵循规定的路线。铁路运输过程中严禁溜车。

便携式泵浦硅烷气体探测器

WASP-XM-E-SiH4产品说明

手持式泵浦硅烷探测器介绍

WASP-XM-E-SiH4泵式手持式硅烷检测仪是一种能够连续监测硅烷气体的检测设备。仪器采用EFM超低功耗的32位ARM，SIH4传感器采用最先进的进口电化学传感器，传感器部分采用两级高精度低温漂移放大器和高稳定性电源处理电路，保证了仪器的快速检测、精确测量、稳定性和良好的重复性，使仪器达到世界上最先进稳定的气体检测仪和检漏仪。探测器采用3.5英寸全彩TFT大屏幕，支持中英文图形化菜单操作，用户操作方便。

WASP-XM-E-SiH4手持式泵浦硅烷探测器的产品特点

采用Membrapor和CITY进口高精度传感器；

采用高精度低温漂移放大器和稳定的电源处理电路

TFT全彩显示，图形菜单，中英文显示，提供实时检测趋势分析图；

数据存储功能，可存储20万组数据，存储间隔可调；

USB接口高速数据传输，可以下载打印数据；

内置长寿命进口微型采样泵，通过档位调节清洗气路；

满足防爆资质认证，防爆等级为ExiaⅱCT4

外壳双色模具:防滑、防水、防尘、防爆

WASP-XM-E-SiH4手持式泵浦硅烷探测器的功能

泵送检测方式:分为三档，低档、中档、高档

监控环境中或封闭空室内的气体浓度，并发出警报

具有自校准功能、零点校准功能和多点校准功能

通过温度和压力补偿，可以很好地实现不同温度和压力环境下的气体浓度补偿

一键恢复出厂设置功能，可以避免误操作的麻烦

气体浓度单位PPM和mg/m3可以快速切换显示。

具有自编程功能，可以设置报警参数，STEL和环球航空功能参数

检测模式有两种:正常检测模式和巡视模式；

检测气路具有自动清洗功能

自动提示仪器故障、传感器校准到期和故障功能

最大值，STEL，环球航空公司和浓度值实时显示

WASP-XM-E-SiH4的应用领域

石油化工、工业生产、冶炼锻造、电力、煤矿、隧道工程、环境监测、污水处理、生物制药、家庭环保、畜牧业、温室栽培、仓储物流、酿造发酵、农业生产、消防、燃气、建筑施工、市政企业、学校实验室、科研中心。

郭蕊仪表气体探测器；

湖南郭蕊仪器有限公司于2009年7月23日注册成立。我公司是一家专注于先进传感器和仪器的设计、开发和生产的高科技企业。公司主要从事各种传感器、变送器、分析仪器、测控仪器、工业模块和数据采集的开发、生产和销售。可提供有毒、有害、易燃易爆气体检测报警仪器、气体分析仪、气体在线监测预处理系统、TVOC在线监测系统、红外激光气体分析仪、泵送气体检测仪等产品。湖南郭蕊仪器有限公司的产品已广泛应用于石油、化工、燃气输配、仓储、市政燃气、消防、环保、冶金、生化医药、能源、电力等行业，得到了客户的一致认可。

湖南郭蕊仪器有限公司主要产品:

乙炔检测器、气体检测器、TVOC检测器、固定式复合气体检测器、便携式五合一气体检测器、手持式四合一气体检测器、乙醇检测器、甲醛检测器、臭氧检测器、氧气检测器、甲烷检测器、磷化氢检测器、硫化氢检测器、二氧化碳检测器、一氧化碳检测器、氮气检测器、二氧化硫检测器、乙烯检测器。200多种气体检测器，包括可燃气体检测器、氢气检测器、光气检测器、氧化氮检测器、氯气检测器、氯化氢检测器、环氧乙烷检测器、一氧化氮检测器、二氧化氮检测器、六氟化硫检测器、过氧化氢检测器、硅烷检测器、氰化氢检测器、氟化氢检测器、氟气检测器、溴甲烷检测器。