洁净室 洁净室的分类与等级

以下由深圳宝成制冷设备有限公司描述

1.根据洁净室结构

1)随机流动

空空气通过空风道和洁净室的空空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并从洁净室两侧的隔墙条板或高架地板返回。气流以非线性方式运动，并处于不规则的湍流或涡流状态。这种形式适合10 ~ 10万的洁净室。

定义:气流不平行、速度不均匀、有回流或涡流的洁净室。

特点:湍流洁净室是通过多次换气达到洁净度和洁净度水平。空气变化的次数决定了定义中的净化级别(空气变化越多，净化级别越高)

(1)自净时间:指洁净室按照设计换气次数开始向洁净室供气，室内粉尘浓度达到设计净化水平的时间。1000级希望不超过20分钟(15分钟可以算出来)；10000级预计不超过30分钟(25分钟可计算)；10万级预计不超过40分钟(可按30分钟计算)。

(2)换气次数(按上述自洁时间要求设计):1000级43.5~55.3次/小时(标准:50次/小时)；10000级23.8~28.6次/h(规格:25次/h)；100000级，14.4~19.2次/h(规格:15次/h)。

优点:结构简单，系统建设成本低，洁净室易于扩建。在一些特殊场合，可以使用无尘工作台来提高洁净室的水平。

缺点:湍流产生的尘粒漂浮在室内空，难以排出，容易污染工艺产品。此外，如果系统停止运行并重新启动，通常需要很长时间才能达到所需的清洁度。

2)层流

层流空气流是均匀线性的。空气体通过过滤器(覆盖工作区100%)进入房间，并从高架地板或两侧隔板返回空气。这种形式适合洁净室等级高的环境，其洁净室等级一般为1~100。

它可以分为两种形式

(1)水平层流

水平空空气从过滤器向一个方向吹出，并通过相对侧壁上的回风系统返回。粉尘随风向室外排放，下游侧污染普遍严重。

优点:结构简单，术后短时间内稳定。

缺点:建设成本高于随机流，室内空房间不易扩建。

(2)垂直层流

房间的天花板完全覆盖了ULPA过滤器，空空气从上到下吹，可以获得很高的洁净度，工人在制造过程中产生的粉尘可以快速排放到外面，而不会影响其他工作区域。

优点:易于管理，运行后短时间内状态稳定，不易受运行状态或运行人员的影响。

缺点:造价高，难以灵活使用空，吊顶吊架占用相当空，过滤器维修更换麻烦。

3)复合型

复合型是湍流和层流的结合，可以提供局部超净空气体。

(1)清洁隧道

使用HEPA(粒子空气体)或ULPA(超低粒子空气体)过滤器100%覆盖工艺区或工作区，清洗水平可提高到10级以上，可节省安装和运行成本。

在这种形式下，操作员的工作区域需要与产品和机器维护隔离开来，以避免在机器维护期间影响工作和产品质量。ULSL工艺大多采用这种形式。

优点:灵活扩展容易；设备维护可以在维护区轻松进行

(2)清洁管道

围绕净化产品流过的自动化生产线，将洁净度提高到100以上。

由于产品、操作瑞安和多尘环境相互隔离，少量送风即可获得良好的洁净度，可节约能源，无人力的自动化生产线最适合使用。适用于药瓶、食品工业和半导体工业。

(3)安装局部洁净室

洁净室等级为10000~100000的紊流洁净室产品工艺区洁净度等级提高到10~1000以上进行生产；洁净工作台、洁净工作棚、洁净空气柜都属于这一类。

洁净工作台:1~100级。

洁净工作棚:在紊流洁净室空，小空房间可以用透明塑料布围起来防静电。独立的HEPA或ULPA和空空调机组组成一个高档的洁净空房间，等级为10-1000

2.根据洁净室的用途

1)工业洁净室

以无生命粒子为控制对象。主要控制空空气和灰尘颗粒对故障物体的污染，一般保持内部正压。适用于精密机械行业、电子行业(半导体、集成电路等)等行业。)，航天工业，高纯化工，原子能工业，光磁产品工业(CD、胶片、磁带生产)，LCD(液晶玻璃)，计算机硬盘，计算机磁头生产等。

2)生物洁净室

主要控制活粒子(细菌)和无生命粒子(灰尘)对工作对象的污染。

(1)普通生物洁净室

主要控制微生物(细菌)对工作对象的污染。同时其内部材料应能承受各种消毒剂的侵蚀，内压一般是有保证的。本质上，它是一个工业洁净室，其内部材料应能承受各种灭菌处理，如制药工业、医院(手术室和无菌病房)食品、化妆品和饮料产品的生产、动物实验室、理化检验室、血站等。

(2)生物安全洁净室

主要控制活粒子对工作对象的污染。洁净室应与大气保持负压，用于细菌学、生物学、洁净实验室、物理工程(重组基因、疫苗制备)等邻里。

3.洁净室等级

ISO/DIS 14644-1洁净室和洁净区按空气中悬浮颗粒的空浓度分类，ISO分类大于或等于下表所列颗粒的最大允许浓度: