光刻机 成功购买ASML光刻机，国内这2家公司火了……

在光刻机市场，ASML不容忽视，其EUV光刻机一直是行业顶级。2021年1月21日，全球领先的硅基氮化镓集成器件制造商InnoSecco技术有限公司与光刻机制造商ASML达成合作协议，批量购买大容量i-line和KrF光刻机，用于制造先进的硅基氮化镓功率器件。

英诺赛科收购ASML光刻机

ASML是芯片制造设备的全球领导者。ASML生产的XT400和XT860的i-line和KrF已经升级，氮化镓功率器件可以在硅基晶片上制造。凭借其独特的TWINSCAN架构，ASML的i-line和KrF光刻机可以提供市场上最好的性能、最高的生产效率和最低的成本。双级技术架构已成为全球300毫米和200毫米晶圆生产线中先进光刻技术的代表。

据了解，Innosecco将于今年第二季度搬进第一批光刻机。这是先进的ASML TWINSCAN光刻技术首次应用于第三代半导体领域的大规模生产。这一实施标志着第三代半导体制造技术正式进入了一个新时代。

功率器件和电路可以通过高开关频率和高功率密度实现高效的能量管理。这些功能可以广泛应用于快速增长的新兴市场，如数据中心、可再生能源和下一代无线通信网络。除了体积小，由于其高频、高功率密度等特点，硅基氮化镓也是快速充电、DC电网、新能源汽车等市场的理想选择。第三代半导体材料包括氮化镓、碳化硅、氮化铝、金刚石和氧化锌，氮化镓是第三代半导体材料的典型代表，具有广阔的市场应用前景。

英诺赛科科技有限公司成立于2015年12月，是一家致力于制造第三代半导体硅基氮化镓芯片的企业。公司成功完成并投产了世界上第一条200mm硅基氮化镓晶片和功率器件的大规模生产线，主要产品包括200mm硅基氮化镓晶片和30V-650V氮化镓功率器件。InnoSecco产品的设计和性能已达到国际最先进水平，并已广泛应用于PD快充、立体摄像、移动电子设备等领域。

昨天在珠海举行的签约仪式上，InnoSecco首席执行官孙在恒先生说:“我非常荣幸地宣布，InnoSecco和ASML已经达成合作协议，我们将携手用氮化镓技术改变未来。作为一家致力于推动第三代半导体创新革命的企业，我们需要与ASML等领先的半导体企业合作，采用更先进的制造技术，实现更高的性能、产量和产量，在各种快速增长的应用领域共同推出最先进的解决方案和下一代氮化镓器件，为我们的客户、合作伙伴和消费者创造更有价值的产品和服务。第三代半导体是革命性的产业升级，改变从来都不简单。这需要我们共同努力，我们将实现合作共赢。

ASML全球副总裁兼中国区总裁申博表示:“我们很高兴成为创新科技的合作伙伴。第三代半导体在全球市场具有广阔的应用前景。Asme将全力提供光刻解决方案和服务，以支持InnoSecco在这一领域的发展。”

“我们的XT平台应用于200mm晶圆生产线，包括i-line、KrF和干式ArF等光刻机，是快速增长的硅基氮化镓市场的理想长期解决方案，不仅在生产率和成本方面，而且随着氮化镓材料在新领域的应用，配准精度和成像要求也将随着时间的推移而扩大。”ASML深紫外光刻业务的产品营销和业务开发高级总监托尼·梅斯奎达·库特斯(Toni Mesquida Kuesters)表示:“我们致力于帮助InnoSecco实现其预期目标，并期待着富有成效的合作。”

景瑞入股购买ASML光刻机

巧合的是，1月19日，国内光刻胶制造商景瑞有限公司宣布，花了几个月时间，终于从ASML购买了一台ASML XT 1900Gi光刻机，该机已经到货，正在按计划投入生产和研发。

根据景瑞的公告，这台ASML XT 1900Gi光刻机属于第四代ArF浸没式光刻胶，可用于显影28nm最高分辨率的高端光刻胶。景瑞公司购买的光刻机价值1102.5万美元，约合人民币7129万元，价值不菲。这款光刻机的到来，可以增加公司在光刻胶产品上的核心竞争力。

景瑞股份表示，购买的ASML光刻机设备是该公司面向集成电路制造的高端光刻胶研发项目的必要实验设备，旨在开发高端ArF光刻胶。如果研发工作进展顺利，将有助于公司实现从光刻胶产品序列到ArF光刻胶的飞跃，最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。

不难发现，ASML已经向国内企业交付了一台光刻机。看来ASML没有犯任何错误。中国光刻机市场需要加快布局，从荷兰发货不需要美国批准。也许将来会有更多的机会从ASML购买重要的光刻设备。

光刻机市场可能会迎来一场变革

1月20日，ASML正式公布2020年收入结果。数据显示，ASML去年总收入140亿欧元，其中交付EUV光刻机31台，总价值45亿欧元，净利润35.5亿欧元，折合人民币280亿元。

从ASML公布的营收和财务报告数据可以知道，EUV光刻机的市场需求是比较大的。总共已经交付了31台EUV光刻机。毫无意外，这些光刻机都到了TSMC和三星。

然而，从收入结构来看，31台EUV光刻机已售出45亿欧元，年总收入为140亿欧元。那么剩下的一半收入来自哪里呢？答案是依靠低端光刻机，这恰恰是设备的这一部分，比EUV光刻机创造更多的收入。

在ASML的收入中，最赚钱的不是高端光刻机，而是低端光刻机设备。这种光刻机在中国需求量很大。一方面，迫切需要运往中国市场；另一方面，中国计划在2025年将芯片自给率提高到70%。

要想完成这个目标，离不开光刻机市场的供应。中国光刻机制造企业基本依靠上海微电子有限公司，该公司拥有28nm浸没式光刻机的研发水平。据报道，装运将安排在2021年至2022年之间。

最近，越来越多的ASML光刻机进入我国。如果中科院在进入光刻机方面有所建树，光刻机的市场变化会来得更快。

每台光刻机都是无价之宝。虽然英诺赛科和景瑞购买的光刻机不是最先进的，但在这个关键时期意义重大。如果有一天，我国能顺利购买EUV光刻机，也不是不可能达到高端芯片制造水平。而且国产光刻机肯定会崛起。

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